수평형 박막 열전모듈의 제조방법 및 이에 의해 제조된 수평형 박막 열전모듈
| 대표분류 | 전기소자 | ||
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| 연구기관 | 한국기계연구원 | 연구자 | 현승민 |
| 기술내용 |
이전대상 특허번호: 10-1119595(한국) 이전유형: 양도/전용/통상실시권 기술료: 양도 300만원 이상/전용실시 200만원 이상/통상실시 100만 이상(3년) 비고: 부가세 별도 본 발명은 수평형 박막 열전모듈 제조방법 및 이를 이용하여 제조한 수평형 박막 열전모듈에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 수평형 박막 열전모듈 제조방법 및 이를 이용하여 제조한 수평형 박막 열전모듈은 실리콘 기판의 상면 및/또는 하면에 열전도율이 낮은 실리콘 나이트라이드 박막층을 형성하고, 상기 실리콘 나이트라이드 박막층의 상면에 열전반도체들을 교대로 증착한다. 본 발명에 따른 수평형 박막 열전모듈 제조방법 및 이를 이용하여 제조한 수평형 박막 열전모듈에 의하면, 열전반도체를 박막형으로 수평으로 증착하여 그 크기를 최소화할 수 있으며, 열전도율이 낮은 실리콘 나이트라이드 박막층의 상면에 열전반도체를 증착함으로써 열전반도체 양단간의 온도차를 크게 할 수 있어 열전모듈의 냉각효율을 향상시킬 수 있다. |
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