루테늄 화합물, 이의 제조 방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법
| 대표분류 | 화학 | ||
|---|---|---|---|
| 연구기관 | 한국화학연구원 | 연구자 | 정택모 |
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이전대상 특허번호: 10-2013-0121986(한국) 이전유형: 양도 기술료: 550만원(부가세포함) 비고: - 본 발명은 하기 화학식 1의 루테늄 화합물 및 이의 제조 방법, 박막을 형성하는 방법에 관한 것으로, 하기 화학식 1의 루테늄 화합물은 열적 안정성이 우수하여 양질의 루테늄 박막을 형성할 수 있다. [화학식 1] |
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