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고경도 무수소 DLC막 장치 및 공정 기술

고경도 무수소 DLC막 장치 및 공정 기술 상세정보
대표분류 도금
연구기관 재료연구소 연구자 김종국
기술내용 고경도 무수소 DLC 양산화 장치 기술 : 400 mm 코팅면적, 30 시간 연속 가동 안정성
적용 맞춤형 무수소 DLC 공정 기술 : 20~ 70 GPa 경도 제어 및 후막화(20 ㎛) 공정 기술
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