와이어 소(wire saw)를 이용한 사파이어 웨이퍼 가공
| 대표분류 | 성형(연삭, 주조, 가공 등) | ||
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| 연구기관 | 한국생산기술연구원 | 연구자 | 김형재, 조형호, 김성렬, 이영철, 이상직 |
| 기술내용 | 본 기술은 사파이어 잉곳을 회전시킴과 함께 와이어소(wire saw)에 절입하여 사파이어 웨이퍼를 제조하는 절단방법에 관한 것으로, 사파이어 잉곳을 회전시키면서 구동되는 와이어에 절입하여 절단하늠으로써 잉곳과 와이어의 접촉면적이 잉곳의 깊이 변화에 따라 증가하지 않고 점접촉에 가까운 접촉상태를 유지할 수 있고 잉곳의 c면에 대하여 소정각도 경사지게 절단할 수 있는 효과를 가진다. | ||
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