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붕소가 도핑된 실리콘 메모리 소자 제조 및 동작 기술 상세정보
대표분류	전기소자
연구기관	한국표준과학연구원	연구자	엄대진, 구자용, 문창연
기술내용	붕소 도핑에 의해 표면 구조가 재구성된 실리콘 표면의 단위 격자가 가지는 안정된 형상을 이용한 메모리 셀 축소 기술
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