유기박막 두께 측정 방법 및 그 측정 장치
| 대표분류 | 측정/검사/시험 | ||
|---|---|---|---|
| 연구기관 | 한국원자력연구원 | 연구자 | 김종윤 |
| 기술내용 |
콤프턴선의 산란신호를 이용한 유기박막 두께 측정 장치로서, 유기박막(측정시료 표면)을 파괴하지 않고도 두께 측정 가능 엑스선 발생부의 표적물질 또는 방사성 동위원소로부터 발생하는 엑스선을 유기박막에 조사하고, 유기박막으로부터 콤프턴 산란되는 콤프턴선을 이용한 유기박막 두께 결정 유기박막 손상 없이 극히 얇은 막부터 두꺼운 막까지 빠른 측정 속도로 두께 측정이 용이하여, 산업용 및 개인용 계측기기로서 활용성과 경제성이 우수 |
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