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광폭 표면처리용 선형 이온빔 소스 및 공정 기술 개발 상세정보
대표분류	도금
연구기관	재료연구소	연구자	김도근, 이승훈, 김종국, 남욱희, 변응선, 이구현
기술내용	강판 및 폴리머 표면처리용 광폭(>2m급) 선형 이온빔 발생기 설계/제작 기술, 선형 이온빔 적용 강판 및 폴리머 표면 Etching 표면 개질 및 증착 플라즈마 공정 기술
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