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양극층 이온원을 이용한 표면 개질 및 광폭 DLC 코팅 기술

양극층 이온원을 이용한 표면 개질 및 광폭 DLC 코팅 기술 상세정보
대표분류 전기소자
연구기관 재료연구소 연구자 김종국, 김기택, 이승훈, 강용진
기술내용 대면적 양극층 이온원 소스를 이용한 금속 및 폴리 머 표면 처리를 통한 표면세정과 박막의 밀착력 향상 기술
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