압착가공을 이용한 나노홀 제작방법
| 대표분류 | 전기소자 | ||
|---|---|---|---|
| 연구기관 | 한국기계연구원 | 연구자 | 윤재성 |
| 기술내용 |
이전대상 특허번호: 10-1399459(한국) 이전유형: 전용/통상실시권 기술료: 전용실시 200만원 이상/통상실시 100만 이상(3년) 비고: 부가세 별도 본 발명은 압착가공을 이용한 나노홀 제작방법에 관한 것이며, 본 발명의 압착가공을 이용한 나노홀 제작방법은 기판 상에 이격공간이 구비되는 복수개의 마이크로 패턴을 형성하는 패턴 형성단계; 상기 마이크로 패턴이 변형을 일으켜 상기 이격공간 측으로 확장됨으로써 나노홀을 형성하도록 상기 마이크로 패턴을 압착하는 압착단계;를 포함하되, 압착되는 마이크로 패턴이 상호 연결되는 것이 방지되도록 이웃하는 마이크로 패턴 사이의 이격공간 내에 완충유체를 충진하는 유체 충진단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.따라서, 본 발명에 의하면, 마이크로 스케일의 패턴을 압착하여 나노 스케일의 홀을 용이하게 제작할 수 있는 압착가공을 이용한 나노홀 제작방법이 제공된다. |
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