이종소재간의 접합공정을 이용한 구조물제조방법
| 대표분류 | 성형(연삭, 주조, 가공 등) | ||
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| 연구기관 | 한국기계연구원 | 연구자 | 김한중 |
| 기술내용 |
이전대상 특허번호: 10-1486890(한국) 이전유형: 전용/통상실시권 기술료: 전용실시 200만원 이상/통상실시 100만 이상(3년) 비고: 부가세 별도 본 발명은 이종접합을 이용한 구조물 제조방법 및 이를 이용한 에너지 소자에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 이종접합을 이용한 구조물 제조방법은 제1기판에 구조물을 형성하는 구조물형성단계; 접합매개층을 상기 구조물과 이종재료의 물질로 이루어지는 제2기판에 도포하는 접합매개층도포단계; 상기 구조물과 상기 접합매개층을 접합시키는 접합단계; 상기 구조물이 상기 제2기판에 남겨지도록 상기 제1기판을 분리하는 분리단계; 및 상기 구조물 형성단계와 상기 분리단계 사이에는 상기 분리단계에서 상기 구조물이 상기 제1기판으로부터 용이하게 분리되도록 상기 제1기판을 습식식각용액에 침지시켜 상기 구조물의 표면에 크랙(crack)을 형성하는 크랙형성단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.이에 의하여, 구조물과 접합매개층의 접촉면 또는 접합증진층과 접합매개층의 접촉면에서 원소가 확산되어 합금을 이룬 뒤 접합매개층을 고화시킴으로써 구조물과 제2기판 간의 접합강도가 향상되는 이종접합을 이용한 구조물 제조방법이 제공된다. |
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