광결정 나노 구조물 제작방법
| 대표분류 | 나노기술 | ||
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| 연구기관 | 한국기계연구원 | 연구자 | 김정환 |
| 기술내용 |
이전대상 특허번호: 10-1501005(한국) 이전유형: 전용/통상실시권 기술료: 전용실시 200만원 이상/통상실시 100만 이상(3년) 비고: 부가세 별도 본 발명은 광결정 나노 구조물 제작방법에 관한 것이며, 본 발명의 광결정 나노 구조물 제작방법은 기판 상에 제1패턴층과 제2패턴층을 반복하여 적층하는 패턴층 적층단계; 상기 제1패턴층에 제1개구부를 형성하고, 상기 제1개구부로부터 깊이방향을 따라 연장되는 가상의 직선 상에 정렬되되 상기 제1개구부보다 작은 면적의 제2개구부를 상기 제2패턴층에 형성하는 개구부 형성단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다. 따라서, 본 발명에 의하면, 광간섭 등의 현상에 의하여 구조색을 발현할 수 있는 광결정 나노 구조물 제작방법이 제공된다. |
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