압력 센서 및 그 제조 방법(kr)
| 대표분류 | 전기소자 | ||
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| 연구기관 | 한국기계연구원 | 연구자 | 장원석 |
| 기술내용 |
이전대상 특허번호: 10-1453857(한국) 이전유형: 전용/통상실시권 기술료: 전용실시 200만원 이상/통상실시 100만 이상(3년) 비고: 부가세 별도 본 발명의 일 실시예에 따른 압력 센서는 기판, 상기 기판 위에 형성되어 있는 트랜지스터, 상기 트랜지스터에 연결되어 있는 압력 센서층, 상기 트랜지스터 및 압력 센서층을 덮고 있는 압력 전달층을 포함하고, 상기 압력 센서층은 복수개의 제1 압력 센서층과 복수개의 제2 압력 센서층이 교대로 형성되어 있을 수 있다. 따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 압력 센서 및 그 제조 방법은 유연성이 없는 실리콘 기판 대신에 유리 기판 또는 폴리머 기판을 사용할 수 있으므로 압력 센서를 곡면에 부착할 수 있고, 내구성을 향상시킬 수 있다. |
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