고속 온도 측정기
| 대표분류 | 측정/검사/시험 | ||
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| 연구기관 | 한국기계연구원 | 연구자 | 장원석 |
| 기술내용 |
이전대상 특허번호: 10-1178884(한국) 이전유형: 전용/통상실시권 기술료: 전용실시 200만원 이상/통상실시 100만 이상(3년) 비고: 부가세 별도 본 발명은 고속 온도측정기에 관한 것으로, 더욱 구체적으로 살펴보면 본 발명의 반도체부품의 표면온도를 측정하는 고속 온도측정기는 중공형태를 갖는 내부면과 외부면에 서로 다른 재질의 금속이 주입 및 도포되는 온도센서를 포함하여, 상기 반도체부품의 표면상에 적어도 일부가 접촉 또는 인접하여 온도데이터를 획득하는 온도센서와; 상기 온도데이터를 외부로 디스플레이하는 서버;를 포함하되, 상기 온도센서는 상기 반도체부품의 표면에 분획 구비되는 하나 이상의 미세측정영역에 각각 대응하도록 하나 이상 구비되는 것을 특징으로 한다. 이러한 구성에 의해, 본 발명의 고속 온도측정기는 온도센서의 팁부재가 반도체부품의 상부 표면에 분획 구비되는 복수 개의 미세 측정영역에 접촉 또는 인접하여 상기 반도체부품의 일 예인 반도체 소자의 표면온도를 미세영역 단위로 측정함으로써, 반도체소자의 표면온도를 영역별로 측정할 수 있다. 그에 따라, 반도체 소자 표면상에 위치하는 수 마이크론 단위의 핫스팟도 정밀하게 검사할 수 있다. |
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