전반사 패턴을 이용한 단면검사부재 및 그를 이용한 검사방법
| 대표분류 | 측정/검사/시험 | ||
|---|---|---|---|
| 연구기관 | 한국기계연구원 | 연구자 | 장성환 |
| 기술내용 |
이전대상 특허번호: 10-1247661(한국) 이전유형: 전용/통상실시권 기술료: 전용실시 200만원 이상/통상실시 100만 이상(3년) 비고: 부가세 별도 본 발명은 단면검사부재 및 그를 이용한 단면 검사 방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 전반사 패턴을 이용한 단면검사부재는 광원, 상기 광원으로부터 발생하는 광경로 상에 위치하며 패턴이 형성되는 박막 시편, 상기 박막 시편의 상부 또는 하부에 위치하는 검사부를 이용하며, 상기 광경로를 따라서 상기 박막 시편의 후단에 설치되며, 상기 박막 시편 패턴으로부터 출사하는 빛을 상기 검사부 측으로 전반사하기 위하여 상기 박막 시편의 패턴의 횡단면 또는 종단면과 마주보는 전반사 면을 형성하는 전반사패턴을 구비하는 것을 특징으로 한다.본 발명에 의한 단면검사부재에 의하면 전반사면을 가지는 전반사 패턴이 형성된 단면 검사용 부재를 이용하여, 고가의 장비를 이용하지 않고도 박막 시편에 형성된 패턴 단면의 형상을 검사할 수 있게 하는 장점이 있다. |
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