점착력 제어가 가능한 폴리머 능동 탈부착 척
| 대표분류 | 전기전자 | ||
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| 연구기관 | 한국기계연구원 | 연구자 | 김재현 |
| 기술내용 |
이전대상 특허번호: 10-1045102(한국) 이전유형: 전용/통상실시권 기술료: 전용실시 200만원 이상/통상실시 100만 이상(3년) 비고: 부가세 별도 본 발명은 나노 구조물을 변형없이 자유롭게 탈부착할 수 있는 척에 관한 것으로서, 본 발명의 일 실시예에 따른 척은, 몸체, 상기 몸체의 일면에 형성된 히터, 상기 히터의 상기 몸체가 위치하는 반대쪽 면에 부착된 소프트 폴리머 및 냉각제가 유동할 수 있도록 상기 몸체 내에 형성된 냉각통로를 포함한다. |
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