초소형 스프링을 이용한 프로브카드 장치 및 이를 제조하는방법
| 대표분류 | 전기소자 | ||
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| 연구기관 | 한국기계연구원 | 연구자 | 이학주 |
| 기술내용 |
이전대상 특허번호: 10-1020152(한국) 이전유형: 전용/통상실시권 기술료: 전용실시 200만원 이상/통상실시 100만 이상(3년) 비고: 부가세 별도 본 발명은 초소형 스프링을 이용한 프로브카드 및 이를 제조하는 방법에 관한 것으로서,상술한 본 발명은, 베이스부;상기 베이스부 하면에 형성되는 것으로, 소정개수의 웨이퍼 칩에 대응하는 배열로 배치된 시드부;상기 시드부와 마주보는 곳에 수용홈이 형성되도록 상기 베이스부 상면에 설치되는 몰드;상기 수용홈에 설치되는 것으로, 일단에는 상기 웨이퍼 칩에 접촉되는 프로브팁이 구비되고 타단에는 상기 베이스부를 관통하여 상기 시드부에 접촉되는 연장핀이 구비된 탄성수단; 을 포함하여 이루어지는 초소형스프링을 이용한 프로브카드 장치를 제공한다. |
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