공명현상을 이용한 나노/마이크로 스케일의 박막의 기계 전기 물성 측정 시험장치
| 대표분류 | 측정/검사/시험 | ||
|---|---|---|---|
| 연구기관 | 한국기계연구원 | 연구자 | 현승민 |
| 기술내용 |
이전대상 특허번호: 10-0963555(한국) 이전유형: 전용/통상실시권 기술료: 전용실시 200만원 이상/통상실시 100만 이상(3년) 비고: 부가세 별도 본 발명은 반도체, NEMS에 구조물로 사용되는 박막 또는 와이어 시편의 기계적 물성과 전기적 특성을 밀폐된 공간에서 동시 측정하기 위한 공명현상을 이용한 나노/마이크로 스케일의 박막의 기계 전기 물성 측정 시험장치에 관한 것으로, 이를 위해 시편의 양측을 클램핑하여 액츄에이터의 작동에 의해 시편에 인장을 가하는 고정수단과, 상기 시편의 저면에 이격되어 시편에 자유공명을 발생시킬 수 있도록 하부전극을 통해 공명전압을 발진시키는 공명전압부와, 상기 시편의 상부에 이격되어 시편의 자유공명 진폭을 상부전극을 통해 검출하여 계측하는 측정제어기와, 상기 고정수단에 클램핑된 시편에 다양한 세기를 갖는 전류 및 전압을 가하여 기계적 변형에 따른 전기적 특성을 측정하는 전기적 소스-측정기를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다. |
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