전기습윤 현상을 이용한 자유지지형 나노박막의 물성 시험 장치
| 대표분류 | 측정/검사/시험 | ||
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| 연구기관 | 한국기계연구원 | 연구자 | 이충광 |
| 기술내용 |
이전대상 특허번호: 10-1453947(한국) 이전유형: 전용/통상실시권 기술료: 전용실시 200만원 이상/통상실시 100만 이상(3년) 비고: 부가세 별도 본 발명은 전기습윤 현상을 이용한 자자유지지형 나노박막의 물성 시험 장치 및 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 관통공이 형성된 기판에 자유지지형 나노박막이 형성되고, 관통공의 내측에 전극층과 절연층이 형성되며 그 내측에 전해액이 수용되어 전극층과 전해액에 전원을 연결하여, 가해지는 전압에 따라 변화되는 전해액과 절연층 사이의 접촉각을 이용하여 전해액 내부의 압력을 구하고 이에 따라 자유지지형 나노박막이 변형되는 정도를 측정하여 나노박막의 잔류응력, 인장강도, 탄성계수 또는 푸아송비와 같은 기계적인 물성을 시험할 수 있도록 하는 전기습윤 현상을 이용한 자유지지형 나노박막의 물성 시험 장치 및 방법에 관한 것이다. |
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