나노 금속 박막의 응력 변화 자동 측정 장치 및 방법
| 대표분류 | 측정/검사/시험 | ||
|---|---|---|---|
| 연구기관 | 한국기계연구원 | 연구자 | 현승민 |
| 기술내용 |
이전대상 특허번호: 10-1053918(한국) 이전유형: 전용/통상실시권 기술료: 전용실시 200만원 이상/통상실시 100만 이상(3년) 비고: 부가세 별도 본 발명은 매우 빠른 응답 특성을 가지고, 입력 신호와 출력 신호의 시간 지연을 최소화할 수 있으며, 공진주파수의 변화를 연속적으로 추종할 수 있는 나노 금속 박막 응력 변화 측정 장치 및 방법을 제공한다. 본원의 제1 발명에 따른 나노 금속 박막 응력 변화 측정 장치는, 시험편에 가진파를 인가하고, 인가되는 상기 가진파에 따라 공진하는 공진주파수를 측정하는 가진 및 검출부; 상기 공진주파수를 검출 가능한 전압으로 증폭하는 증폭부; 상기 증폭부로부터 출력되는 공진 주파수를 추종하여 고정 크기의 소스 신호를 생성하는 고정 신호 생성부; 및 고정 크기의 소스 신호를 상기 시험편의 편차와 무관하게 일정 크기의 출력신호로 적응시키는 적응 신호 생성부를 포함한다. |
||
| 자료집 | 다운로드 | ||