자유지지형 나노박막의 물성 시험 장치 및 방법
| 대표분류 | 측정/검사/시험 | ||
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| 연구기관 | 한국기계연구원 | 연구자 | 황보윤 |
| 기술내용 |
이전대상 특허번호: 10-1409812(한국) 이전유형: 전용/통상실시권 기술료: 전용실시 200만원 이상/통상실시 100만 이상(3년) 비고: 부가세 별도 본 발명은 자유지지형 나노박막의 물성 시험 장치 및 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 다수개의 관통공이 형성된 기판 상면에 나노박막이 전사되어 자유지지형 나노박막이 형성된 기판을 지그에 고정하고, 특정한 압력으로 진공을 가한 상태에서 원자현미경(Atomic force microscope) 또는 간섭계(Interferometer) 등의 측정장비를 이용하여 자유지지된 나노박막이 변형된 정도를 측정함으로서, 자유지지형 나노박막의 인장강도, 탄성계수 또는 푸아송비와 같은 기계적인 물성을 시험할 수 있도록 하는 자유지지형 나노박막의 물성 시험 장치 및 방법에 관한 것이다. |
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