프로젝션 어블레이션용 마스크의 제조 방법
| 대표분류 | 성형(연삭, 주조, 가공 등) | ||
|---|---|---|---|
| 연구기관 | 한국기계연구원 | 연구자 | 손현기 |
| 기술내용 |
이전대상 특허번호: 10-1200484(한국) 이전유형: 전용/통상실시권 기술료: 전용실시 200만원 이상/통상실시 100만 이상(3년) 비고: 부가세 별도 본 발명에 따른 프로젝션 어블레이션용 마스크의 제조 방법은 마스크 기판 위에 제1 금속층을 형성하는 단계, 상기 마스크 기판의 아래에서 상기 제1 금속층에 레이저 빔을 조사하여 제1 개구부를 형성하여 제1 금속 패턴층을 형성하는 단계, 상기 마스크 기판 및 제1 금속 패턴층 위에 제2 금속층을 형성하는 단계, 상기 마스크 기판의 아래에서 상기 제2 금속층에 레이저 빔을 조사하여 제2 개구부를 형성하여 제2 금속 패턴층을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 제1 개구부와 상기 제2 개구부는 동일한 패턴 폭을 가질 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 프로젝션 어블레이션용 마스크의 제조 방법은 마스크 기판의 아래에서 레이저 빔을 조사하여 마스크 패턴층을 형성하므로, 레이저 빔의 에너지 분포와 상관없이 미세한 패턴 폭을 가지고 패턴간 간격이 제한되지 않는 마스크 패턴층을 제조할 수 있다. |
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