이동식 진공 챔버와 이를 구비한 전자현미경 및 시편을 검사하는 방법
| 대표분류 | 전기소자 | ||
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| 연구기관 | 한국기계연구원 | 연구자 | 임선종 |
| 기술내용 |
이전대상 특허번호: 10-1395261(한국) 이전유형: 전용/통상실시권 기술료: 전용실시 200만원 이상/통상실시 100만 이상(3년) 비고: 부가세 별도 본 발명은 전자 현미경에 설치되는 이동식 진공 챔버에 대한 것으로서 특히 이동시 차동 진공 바아를 진입하여 진공 챔버 내부 공간을 상하로 구획하여 하측 공간은 공기를 투입하고 시편 검사 시에는 상기 차동 진공 바아를 후퇴한 후 진공 챔버 내부를 진공으로 형성하여 시편상의 원하는 위치에 전자현미경을 배치한 후 검사할 수 있는 이동식 진공 챔버와 이를 구비한 전자현미경 및 시편을 검사하는 방법에 대한 것이다. |
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