플라즈마 히터
| 대표분류 | 전기전자 | ||
|---|---|---|---|
| 연구기관 | 한국기계연구원 | 연구자 | 이대훈 |
| 기술내용 |
이전대상 특허번호: 10-1453860(한국) 이전유형: 양도/전용/통상실시권 기술료: 양도 300만원 이상/전용실시 200만원 이상/통상실시 100만 이상(3년) 비고: 부가세 별도 본 발명의 목적은 공정 챔버에서 진공펌프 또는 스크러버로 배출되는 공정가스를 가열하는 플라즈마 히터를 제공하는 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 히터는, 공정 챔버와 진공펌프 또는 스크러버를 연결하는 공정가스관에 설치되어 내측으로 공정가스를 유통시키는 내부 하우징, 상기 내부 하우징을 수용하여 상기 공정가스관에 설치되어, 상기 내부 하우징의 외측을 상기 공정가스관 내부에 통로로 연결하는 외부 하우징, 및 상기 외부 하우징의 일측에 내장되는 전극에 전압을 인가하여 발생되는 플라즈마 반응으로 외부에서 공급되는 기체를 가열하여 상기 통로를 통하여 상기 공정가스관 내부로 공급하는 가열부를 포함한다. |
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