초음파 정밀세정장치
| 대표분류 | 전기소자 | ||
|---|---|---|---|
| 연구기관 | 한국기계연구원 | 연구자 | 이양래외 4인 |
| 기술내용 |
이전대상 특허번호: 5517227(일본) 이전유형: 전용/통상실시권 기술료: 전용실시 200만원 이상/통상실시 100만 이상(3년) 비고: 부가세 별도 【요약】 본 발명은 압전 소자의 중심부에서 음압이 집중되지 않고 넓은 면적에 걸쳐 균일한 음압이 발생하도록 하고 피세정물에 손상을 주지 않고 세척 효율을 향상시킬 수 있는 초음파 정밀 세척 장치에 관한다. 본 발명의 초음파 정밀 세척 장치는 피세정물에 세정액을 공급하는 세정액 공급 장치와 세라믹체 및 세라믹체의 상부 및 하부에 각각 증착한 상부 전극, 하부 전극을 구비해 초음파를 발생시키는 압전 소자와 압전 소자의 단부에 결합해 피세정물과 대향하도록 구비되고 압전 소자에서 발생하는 초음파를 피세정물로 전달하는 초음파 전달체와 하우징과 전원선를 포함한 초음파 세척 장치로서, 압전 소자 또는 초음파 전달체의 중심으로는 수직 홀이 형성된다. |
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