진공열처리장치 및 그 방법

진공열처리장치 및 그 방법 상세정보
대표분류 전기소자
연구기관 국가핵융합연구소 연구자 박갑래외 4인
기술내용 이전대상 특허번호: 10-0732064(한국)
이전유형: 양도
기술료: 110만원(부가세포함)
비고: 기술료 외 양수특허의 연차료 추납(가산금 포함)과 권리이전 제반비용 모두 기업 부담

본 발명은 진공열처리장치 및 그 방법에 관한 것으로, 초전도 코일이 극저온에서 초전도성질을 가지기 위하여 권선된 코일을 진공열처리장치의 내부에 설치한 후 660℃의 온도로 30일간의 반응처리시 온도 균일도를 유지하고, 관내연선도체의 관에 크랙이 발생되지 않도록 산소농도 0.08 ppm 이하의 내부 진공도를 유지하는 데 목적이 있다. 이를 위한 진공열처리장치는, 핵융합로에 사용되는 관내연선도체의 열처리를 통한 초전도화 과정에서 진공도를 조절하여 관내연선도체의 크랙발생을 방지하는 진공열처리장치에 있어서, 초전도 자석의 코일을 수용하는 진공챔버와, 상기 진공챔버의 상하부에 개폐되는 상하부커버를 포함하여 구성된 열처리챔버;와 상기 열처리챔버 내부를 진공으로 만드는 진공펌프부;와 상기 열처리챔버 내부에 설치되어 온도를 각각 독립적으로 제어하도록 하나 이상의 열선셋트가 포함된 온도제어부;와 진공챔버 내에 설치되는 초전도자석 코일내부에 초순수(99.9995%) 아르곤 가스를 연속적으로 흘려주어 아르곤에 포함된 산소 및 수분의 농도가 일정수준 이하로 유지 되도록 구성된 가스 퍼지부;와 열처리챔버에서 수집된 정보 중 열처리온도, 진공도, 가스의 농도, 잔여가스분석기, 수온을 모니터링하는 운전 제어 및 모니터링부가 포함되는 것을 특징으로 한다.
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