온도분포 측정장치
| 대표분류 | 측정/검사/시험 | ||
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| 연구기관 | 한국기초과학지원연구원 | 연구자 | 유선영 |
| 기술내용 |
이전대상 특허번호: 10-1350976(한국) 이전유형: 통상실시권 기술료: 무상 비고: - 본 발명은 3차원 구조를 가지는 시료에 대한 온도분포를 비접촉식으로 측정할 수 있는 온도분포 측정장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 색분산 렌즈, 회절분광기, 광검출 어레이를 이용하여 시료의 깊이 방향(Z방향)의 온도분포를 열반사법으로 측정하고, 2축 주사 거울을 이용하여 시료의 평행방향(x-y 축 방향)의 온도분포를 열반사법으로 측정함으로써 시료의 3차원 온도분포를 측정할 수 있도록 한 온도분포 측정장치를 제공한다. |
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