온도변화에 따른 다이나믹한 결정방위 측정장치
| 대표분류 | 전기소자 | ||
|---|---|---|---|
| 연구기관 | 국가핵융합연구소 | 연구자 | 정혜진 |
| 기술내용 |
이전대상 특허번호: 10-1037139(한국) 이전유형: 양도 기술료: 165만원(부가세포함) 비고: 기술료 외 양수특허의 연차료 추납(가산금 포함)과 권리이전 제반비용 모두 기업 부담 본 발명은 온도변화에 따른 다이나믹한 결정방위 측정장치에 관한 것으로, 재료의 결정방위를 측정하기 위해 전자빔을 주사하여 재료에서 방출되는 2차 전자를 통해 결정방위를 측정하는 측정장치에 있어서, 진공챔버에 내에 위치한 재료에 전자빔을 주사하여 이를 통해 재료의 형상을 측정하는 주사 전자 현미경(SEM), 상기 진공챔버 내에서 주자 전자 현미경을 통해 주사된 전자빔이 재료에서 산란되면 이를 통해 결정 방위를 측정하는 전자 산란 회절장치(EBSD), 상기 진공챔버 내에 구비되어 상기 재료의 온도를 변화시키기 위해 열을 가해주는 히터부, 상기 히터부를 제어하여 상기 진공챔버내에 원하고자 하는 온도로 설정하기 위한 히터제어부 및 상기 SEM과 EBSD에서 측정된 재료의 결정방위를 출력하거나, 상기 진공챔버 내 온도를 변경하기 위해 상기 히터부를 동작시키는 히터제어부를 제어하는 단말기를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다. |
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