금속 코어수단을 이용한 다결정 실리콘 봉의 제조방법
| 대표분류 | 도금 | ||
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| 연구기관 | 한국화학연구원 | 연구자 | 김희영 |
| 기술내용 |
이전대상 특허번호: 07746605.0(독일) 이전유형: 양도 기술료: 550만원(부가세포함) 비고: - 본 발명은 금속 코어수단을 이용한 다결정 실리콘 봉의 제조방법에 관한 것으로서, 금속 코어요소 표면에 하나 또는 다수의 분리층을 형성시켜 구성된 코어수단을 전극부와 연결하여 석출반응기 내부에 위치시키고, 전극부를 통해 전기를 공급하여 코어수단을 가열하면서 코어수단 표면에 외부방향으로 실리콘을 석출시켜 석출부를 형성시키는 금속 코어수단을 이용한 다결정 실리콘 봉의 제조방법에 관한 것이다. 이러한 본 발명의 제조방법에 의하면, 석출반응 종료 후 얻어지는 실리콘 봉으로부터 석출부와 코어수단의 분리를 용이하게 할 수 있고, 석출부가 금속 코어요소의 불순물에 의해 오염되는 것을 최소화하면서 고순도 실리콘을 제조할 수 있게 된다. |
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