금속 코어수단을 이용한 다결정 실리콘 봉의 제조방법
| 대표분류 | 화학 | ||
|---|---|---|---|
| 연구기관 | 한국화학연구원 | 연구자 | 김희영 |
| 기술내용 |
이전대상 특허번호: 2009-511942(일본) 이전유형: 양도 기술료: 550만원(부가세포함) 비고: - 본 발명은 금속 코어 수단을 이용해 다결정 실리콘봉을 하는 방법에 관한 것으로 실리콘봉을 제조하기 위해 사용하는 석출 반응기의 내부 공간에 코어 수단을 설치해, 상기 코어 수단은 금속 코어 요소의 표면에 1 또는 복수의 분리층을 형성해 구성되고, 전극 수단에 접속되고 상기 전극 수단을 통해 전기를 공급해 코어 수단을 가열하고 실리콘을 석출하기 위해 상기 내부 공간에 반응 가스를 공급함으로써, 상기 코어 수단의 표면 외측방향에 석출 생성물을 형성하는 공정으로 구성된다. 본 발명에 따르면 상기 석출 생성물 및 상기 코어 수단은 실리콘 석출 공정에 의해 얻어진 실리콘봉에서 용이하게 분리되고 상기 금속 코어 요소의 불순물에 의해 당겨 일어나는 석출 생성물의 오염이 최소화될 수 있기 위해, 고순도의 실리콘이 또한 경제적으로 편리한 방법으로 제조될 수 있다. 【선택도】 도 1 |
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