액체상에서의 플라즈마 방전장치

액체상에서의 플라즈마 방전장치 상세정보
대표분류 전기전자
연구기관 국가핵융합연구소 연구자 이봉주외 3인
기술내용 이전대상 특허번호: 10-1087061(한국)
이전유형: 양도
기술료: 110만원(부가세포함)
비고: 기술료 외 양수특허의 연차료 추납(가산금 포함)과 권리이전 제반비용 모두 기업 부담

본 발명은 액체상에서의 플라즈마 방전장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 액체상에서의 플라즈마 방전장치는 매질로서 액체를 사용하고 플라즈마 방전을 통해 액체를 처리하는 액체상에서의 플라즈마 방전장치로서, a) 전압이 인가되는 파워전극과, b) 상기 파워전극에 대향하는 접지전극과, c) 상기 파워전극과 상기 접지전극의 사이에 배치되는 유전체 격벽(dielectric barrier)을 포함하되, 상기 유전체 격벽은 하나 이상의 관통구멍(penetrating pore)을 갖고, 플라즈마 방전을 수행할 때, 상기 관통구멍에는 액체가 충진되는 것을 특징으로 한다. 이때, 상기 액체가 충진된 상기 관통구멍은 방전 채널을 형성한다. 상기 관통구멍에 충진된 액체는 고체 유전체의 유전상수보다 매우 높으므로 관통구멍 내에서의 전기장을 극대화할 수 있다. 따라서, 상기 액체상에서의 플라즈마 방전장치는 적은 파워로서 액체상의 플라즈마 방전을 유도할 수 있다는 장점을 갖는다.
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