가우시안 빔 안테나를 이용한 플라즈마 밀도 측정용 간섭계
| 대표분류 | 측정/검사/시험 | ||
|---|---|---|---|
| 연구기관 | 국가핵융합연구소 | 연구자 | 이규동외 2인 |
| 기술내용 |
이전대상 특허번호: 10-1121056(한국) 이전유형: 양도 기술료: 165만원(부가세포함) 비고: 기술료 외 양수특허의 연차료 추납(가산금 포함)과 권리이전 제반비용 모두 기업 부담 본 발명은 가우시안 빔 안테나를 이용한 플라즈마 밀도 측정용 간섭계에 관한 것으로, 플라즈마 밀도를 측정하는 간섭계에 있어서, 마이크로파를 발생시키는 마이크로파 발생원, 상기 마이크로파 발생원에서 발생된 마이크로파를 전달하는 도파관, 상기 도파관으로부터 전달받은 마이크로파를 방출시키는 안테나, 상기 안테나에서 방출된 마이크로파를 반사시키는 반사경, 진공용기의 진공플렌지에 일체로 고정되어 상기 반사경을 통해 전달받은 마이크로파를 플라즈마 용기 내부에 전달하는 빔 렌즈 및 상기 플라즈마를 통과한 마이크로파의 위상차를 검출하는 처리부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다. 이와 같이 구성되는 본 발명은 진공플렌지 일체형 가우시안 빔 렌즈를 이용하여 마이크로파를 진공용기 내부에 방출시킴에 따라 빔 출력의 손실을 줄이고, 시스템의 단가를 절감시킬 수 있는 이점이 있다. |
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