혼합된 코어수단을 이용한 다결정실리콘 봉 제조 방법 및 장치
| 대표분류 | 도금 | ||
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| 연구기관 | 한국화학연구원 | 연구자 | 김희영 |
| 기술내용 |
이전대상 특허번호: 07746494.9(프랑스) 이전유형: 양도 기술료: 550만원(부가세포함) 비고: - 석출 반응기의 내부 공간에 저항성 재료로 제작되는 제1 코어 수단을 실리콘 재료로 제작되는 제2 코어 수단과 함께 설치해；상기 제 1 코어 수단을 전기적으로 가열하여 전기적으로 가열되는 상기 제 1 코어 수단에 의해 상기 제 2 코어 수단을 예열해；상기 예열된 제2 코어 수단을 전기적으로 가열해；그리고 실리콘의 석출을 위해 상기 제 1 코어 수단과 제2 코어 수단이 전기적으로 가열되는 상태에서 내부 공간에 반응 가스를 공급하는 것을 구비하는 혼합된 코어 수단을 사용하여 다결정 실리콘봉을 제조하는 방법 및 장치를 개시한다. |
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