혼합된 코어수단을 이용한 다결정 실리콘 봉의 제조방법과그 제조장치
| 대표분류 | 도금 | ||
|---|---|---|---|
| 연구기관 | 한국화학연구원 | 연구자 | 김희영 |
| 기술내용 |
이전대상 특허번호: 07746494.9(키르기즈스탄) 이전유형: 양도 기술료: 550만원(부가세포함) 비고: - 본 발명은 혼합된 코어수단을 이용한 다결정 실리콘 봉의 제조방법 및 그 제조장치에 관한 것으로서, 특히 봉 형상의 다결정 실리콘을 제조하는데 사용할 수 있는 석출반응기의 구성과 운전방법에 관한 것이다. 이러한 본 발명은 석출반응기의 내부공간에 저항성 재료로 이루어진 제1코어수단과, 실리콘 재료로 이루어진 제2코어수단을 함께 설치한 뒤, 상기 제1코어수단을 전기가열하고, 이와 같이 전기가열된 상기 제1코어수단에 의하여 상기 제2코어수단이 예열되도록 한 다음, 예열된 상기 제2코어수단을 전기가열하는 것을 특징으로 하며, 이를 통해 상기 두 가지 코어수단의 외부방향으로 실리콘을 석출시켜 다결정 실리콘 봉을 제조할 수 있도록 한 것이다. |
||
| 자료집 | 다운로드 | ||