이종(異種) 희토류 발광원소를 함유하는 산화가돌리늄 절연막 및 이의 제조방법
| 대표분류 | 전기소자 | ||
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| 연구기관 | 한국화학연구원 | 연구자 | 최성호 |
| 기술내용 |
이전대상 특허번호: 10-2010-0030080(한국) 이전유형: 양도 기술료: 550만원(부가세포함) 비고: - 본 발명은 산화가돌리늄 절연막 및 이의 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게 설명하면 절연 특성이 좋은 산화가돌리늄에 이종(異種) 희토류 원소를 추가로 첨가함으로써 절연 특성이 한층 강화되고 특정 발광 스펙트럼을 나타내는 절연막에 관한 것이며, 또한 이러한 절연막을 비진공방식인 스핀코팅 방식을 이용하여 제조하는 방법에 관한 것이다. 본 발명의 산화가돌리늄 절연막은 박막형 트랜지스터의 절연막 등으로 유용하게 적용할 수 있으며, 본 발명에서 제시하는 제조방법은 진공증착방식이 아닌 스핀코팅 방법을 사용함으로써 대형 디스플레이 전자 소자 개발에 적용이 가능하다. |
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