자발적 연소 반응이 발생하는 금속 산화물계 유전체 조성물및이를통해제조되는게이트절연막
| 대표분류 | 전기소자 | ||
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| 연구기관 | 한국화학연구원 | 연구자 | 이창진 |
| 기술내용 |
이전대상 특허번호: 10-2013-0117554(한국) 이전유형: 양도 기술료: 550만원(부가세포함) 비고: - 본 발명은 자발적 연소 반응이 발생하는 금속 산화물계 유전체 조성물 및 이를 통해 제조되는 게이트 절연막에 관한 것이다. 본 발명에 따른 자발적 연소 반응이 발생하는 유전체 조성물은 자발적인 연소반응으로 발생하는 열을 통해 저온에서의 공정이 수행 가능한 효과가 있다. 또한, 이를 통해 제조되는 박막은 트랜지스터 소자의 게이트 절연막의 재료로 이용될 수 있고, 이에 따라 전기적 성능이 향상된 박막 트랜지스터를 제조할 수 있는 효과가 있다. 나아가, 졸-겔 반응이 가능한 유기물을 첨가함으로서 조밀하고 균일한 박막을 제조할 수 있고 신뢰도가 우수한 박막 트랜지스터를 제조할 수 있는 효과가 있다. |
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