산화 마그네슘 전구체, 이의 제조방법, 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법
| 대표분류 | 화학 | ||
|---|---|---|---|
| 연구기관 | 한국화학연구원 | 연구자 | 정택모 |
| 기술내용 |
이전대상 특허번호: 10-2012-0049237(한국) 이전유형: 양도 기술료: 550만원(부가세포함) 비고: - 본 발명은 하기 화학식1로 표시되는 산화 마그네슘 전구체에 관한 것으로, 상기 산화 마그네슘 전구체는 열적으로 안정하고 휘발성이 좋으므로 양질의 산화 마그네슘을 포함한 박막을 형성할 수 있다. [화학식 1] |
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