게르마늄 전구체, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법
| 대표분류 | 화학 | ||
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| 연구기관 | 한국화학연구원 | 연구자 | 정택모 |
| 기술내용 |
이전대상 특허번호: 10-2012-0136560(한국) 이전유형: 양도 기술료: 550만원(부가세포함) 비고: - 본 발명은 하기 화학식 1로 표시되는 게르마늄 전구체에 관한 것으로, 상기 게르마늄 전구체는 열적 안정성이 향상되고, 칼코겐을 포함하고 있는 전구체인 경우에는 박막 제조 중에 별도의 칼코겐을 첨가시키지 않아도 되는 장점이 있어 양질의 칼코겐이 포함된 게르마늄 박막을 형성할 수 있다. [화학식 1] (상기 식에서, A는 O 또는 S이고, E는 S, Se 또는 Te이고, R1, R2는 각각 독립적으로 C1-C10의 선형 또는 분지형 알킬기이고, R3, R4는 각각 독립적으로 C1-C10의 선형 또는 분지형의 알킬 또는 플루오로알킬기이며, n은 1에서 3사이의 숫자에서 선택된다.) |
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