몰리브데넘 화합물, 이의 제조 방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법
| 대표분류 | 화학 | ||
|---|---|---|---|
| 연구기관 | 한국화학연구원 | 연구자 | 정택모 |
| 기술내용 |
이전대상 특허번호: 10-2013-0121985(한국) 이전유형: 양도 기술료: 550만원(부가세포함) 비고: - 본 발명은 몰리브데넘 화합물에 관한 것으로, 상기 화합물은 열적으로 안정하고, 휘발성이 높아 이를 이용하여 몰리브데넘 칼코게나이드를 포함하는 양질의 박막을 얻을 수 있다. |
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