텅스텐 화합물, 이의 제조 방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법

텅스텐 화합물, 이의 제조 방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법 상세정보
대표분류 화학
연구기관 한국화학연구원 연구자 정택모
기술내용 이전대상 특허번호: 10-2013-0121987(한국)
이전유형: 양도
기술료: 550만원(부가세포함)
비고: -

본 발명은 텅스텐 화합물에 관한 것으로, 상기 화합물은 열적으로 안정하고, 휘발성이 높아 이를 이용하여 텅스텐 칼코게나이드를 포함하는 양질의 박막을 얻을 수 있다.
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