나노기공의 크기 및 분포가 제어된 기체분리용 무기소재 분리막의 제조장치

나노기공의 크기 및 분포가 제어된 기체분리용 무기소재 분리막의 제조장치 상세정보
대표분류 분리/혼합
연구기관 한국화학연구원 연구자 서봉국
기술내용 이전대상 특허번호: 10-2014-0121895(한국)
이전유형: 양도
기술료: 550만원(부가세포함)
비고: -

본 발명에 따르면, 미세다공성 무기소재 지지체에 메조다공성 무기산화물 중간층을 형성시키고, 상기 지지체의 양쪽면에 압력차를 발생시킨 다음, 압력이 낮은 쪽에 실란화합물의 증기를 공급하여 기상화학증착법(CVD)으로 나노다공성 실리카 활성층을 증착시키는 것에 의해 제조된, 나노기공이 제어된 기체분리용 무기소재 분리막의 제조를 위한 제조장치가 제공된다. 본 발명에 따르면, 전체적으로 균일한 나노기공 크기 및 분포를 가지며, 혼합기체로부터 목적하는 기체를 선택적으로 분리하는데 효과적인, 나노기공이 제어된 기체분리용 무기소재 분리막을 유리하게 제조할 수 있다.
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