고주파 가속 공동을 이용한 이온 주입장치
| 대표분류 | 전기소자 | ||
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| 연구기관 | 한국원자력연구원 | 연구자 | 조용섭 |
| 기술내용 |
이전대상 특허번호: 10-1103737(한국) 이전유형: 양도 기술료: 무상 비고: - 본 발명의 고주파 가속 공동을 이용한 이온 주입장치는 입구홀과 출구홀이 구비된 진공챔버, 상기 진공챔버의 입구홀과 출구홀에 가속홀이 정열되도록 배치된 가속홀을 구비한 한 쌍의 가속전극, 상기 진공챔버 내에 배치되며 상기 양 가속전극에 양단이 접속되고 중간부가 진공챔버에 연결된 코일, 및 고주파원을 포함한다. 본 발명은 가속 공동에 코일을 구비하여 공진주파수를 낮춤으로써 비교적 낮은 주파수의 고주파 발생기를 사용하여 이온을 가속할 수 있는 효과가 있다. |
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