금속산화물을 이용한 고출력 전계방출 소자의 제조방법 및 금속산화물을 이용한 고출력 전계방출 소자
| 대표분류 | 전기소자 | ||
|---|---|---|---|
| 연구기관 | 한국전기연구원 | 연구자 | 방 욱 |
| 기술내용 |
이전대상 특허번호: 10-1172811(한국) 이전유형: 양도 기술료: 200만원, 단 미납연차료는 양수인 부담 비고: 부가세 별도 본 발명은 전계방출 소자의 제조방법 및 그 전계방출 소자에 관한 것으로서, 금속 디스크를 가공하는 제1단계와; 상기 가공된 금속 디스크의 배면에 내산화층을 형성하는 제2단계와; 상기 금속 디스크의 측면 및 상면 가장자리 부분에 금속층을 증착하는 제3단계와; 상기 금속층이 증착된 금속 디스크를 산화시켜, 상기 금속 디스크의 상면에서 상기 금속층이 증착되지 않은 부분에서는 금속 나노선을 성장시키고, 상기 금속층이 증착된 금속 디스크의 측면 및 상면 가장자리 부분에는 금속산화물 절연층을 성장시키는 제4단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 금속산화물을 이용한 고출력 전계방출 소자의 제조방법 및 이러한 제조방법에 의해 제조된 금속산화물을 이용한 고출력 전계방출 소자를 기술적 요지로 한다. 이에 의해 금속 디스크의 배면 및 측면 그리고 가장자리에서의 나노선 성장을 억제하는 공정을 개발하여 간단한 공정으로 저가의 나노선을 이용한 전계방출 소자의 제작이 가능하며, 전계방출 소자의 가장자리에서 발생하는 아크방전으로 인해 소자 및 전원회로의 파괴를 막아 소자의 특성을 향상시킬 수 있어 고효율, 고출력의 전계방출 소자의 제조를 용이하게 하는 이점이 있다. |
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