다수의 탄화규소 단결정 성장을 위한 장치
| 대표분류 | 도금 | ||
|---|---|---|---|
| 연구기관 | 한국전기연구원 | 연구자 | 방 욱 |
| 기술내용 |
이전대상 특허번호: 10-1028116(한국) 이전유형: 양도 기술료: 200만원, 단 미납연차료는 양수인 부담 비고: 부가세 별도 본 발명은 다수의 탄화규소 단결정을 동시에 성장시키는 장치에 관한 것으로서, 흑연도가니 상부에 다수의 탄화규소 단결정 종자정을 위치시키고, 상기 흑연도가니 하부에 탄화규소 분말을 위치시켜 하부와 상부 사이에 온도차가 발생하도록 하여 하부의 탄화규소 분말이 승화하여 상부의 탄화규소 단결정 종자정에서 재결정화되어 단결정을 성장시키는 탄화규소 단결정 성장을 위한 장치에 있어서, 상기 탄화규소 단결정 종자정과 탄화규소 분말 사이에 위치되고 상기 흑연도가니 외벽에 접촉형성되어 상기 탄화규소 단결정 종자정보다 고온을 유지하며, 상기 다수의 탄화규소 단결정 종자정에 대응되는 다수의 성장공간이 형성된 흑연성장틀이 구비된 것을 특징으로 하는 다수의 탄화규소 단결정 성장을 위한 장치를 기술적 요지로 한다. 이에 따라, 탄화규소 단결정 종자정과 탄화규소 분말 사이에 상기 탄화규소 단결정 종자정에 대응되는 흑연성장틀을 형성시켜, 각각이 독립적인 탄화규소 단결정을 다량으로 얻을 수 있으며, 또한, 탄화규소 분말 내부와 탄화규소 분말과 탄화규소 단결정 종자정 사이의 기체에 비해 온도가 높아 전체적으로 비슷한 열분포를 갖도록 조절하여 각각의 종자정으로부터 성장되는 탄화규소 단결정은 대체로 균일한 온도와 온도 구배를 유지할 수 있어 균일한 특성을 갖는 탄화규소 단결정을 얻을 수 있으며, 또한, 흑연성장틀에 형성된 성장공간의 형상에 따라 탄화규소 단결정이 성장하게 되므로, 필요한 목적에 따라 다양한 형태의 단결정을 제조할 수 있는 이점이 있다. |
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