라디칼 발생 및 이송 장치
| 대표분류 | 전기전자 | ||
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| 연구기관 | 국가핵융합연구소 | 연구자 | 홍용철외 2인 |
| 기술내용 |
이전대상 특허번호: 10-1398592(한국) 이전유형: 양도 기술료: 220만원(부가세포함) 비고: 기술료 외 양수특허의 연차료 추납(가산금 포함)과 권리이전 제반비용 모두 기업 부담 본 발명은 플라즈마를 이용하여 화학적 반응성이 높은 라디칼들(Radicals)의 발생 및 이송 장치에 관한 것이다. 더욱 상세하게는 본 발명은 전자파에 의한 무전극 플라즈마를 이용하여 플로린화합물들(Fluorine-compounds)를 효율적으로 이온화, 분리 및 여기하여 자유라디칼(F), 여기된 라디칼(F*), 양이온(F+), 또는 음이온(F-)을 포함하는 플라즈마를 발생시키고 상기 플라즈마 내의 라디칼들을 라디칼 이송관을 통해 이송시키고, 상기 이송된 라디칼들이 원하는 곳에 균등하게 분배되어 물질을 처리할 수 있도록 하는 라디칼 발생 및 이송 장치에 관한 것이다. |
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