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원격 플라즈마 처리용 소스

원격 플라즈마 처리용 소스 상세정보
대표분류 전기전자
연구기관 국가핵융합연구소 연구자 최용섭외 5인
기술내용 이전대상 특허번호: 10-1480095(한국)
이전유형: 양도
기술료: 275만원(부가세포함)
비고: 기술료 외 양수특허의 연차료 추납(가산금 포함)과 권리이전 제반비용 모두 기업 부담

본 발명은 원격 플라즈마 처리용 소스에 관한 것으로서, 더욱 구체적으로는 균일한 래디컬의 분사가 이루어지도록 하기 위한 원격 플라즈마 처리용 소스에 관한 것이다.
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