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한 번의 공정에 의한 대량 기판 박막 증착 기술 상세정보
대표분류	도금
연구기관	한국원자력연구원	연구자	-
기술내용	기판을 개별적으로 홀딩된 다층 기판 홀더가 이송구동부, 증착이송구동부, 박막증착챔버의 구성장치를 통해 한 번의 공정을 통해 다량의 대형 기판을 계속해서 증착 가능한 기술임
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