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ECR 플라즈마를 이용한 이온빔 장치 및 고품질 박막 증착을 위한 스피터 장치

ECR 플라즈마를 이용한 이온빔 장치 및 고품질 박막 증착을 위한 스피터 장치 상세정보
대표분류 전기전자
연구기관 국가핵융합연구소 연구자 김성봉
기술내용 선형 구조 및 원형 구조 모두가 가능한 ECR 플라즈마 발생 장치에 관한 기술임
벨트형 자석 구조와 이에 맞는 마이크로파 Launcher가 핵심 기술임
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