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고유량 원격 플라즈마 세정원을 위한 수냉식 표면파 플라즈마 장치

고유량 원격 플라즈마 세정원을 위한 수냉식 표면파 플라즈마 장치 상세정보
대표분류 전기소자
연구기관 국가핵융합연구소 연구자 유현종
기술내용 원격 플라즈마 세정원을 위한 새로운 형태의 수냉식 마이크로웨이브 플라즈마 장치: 유전체관을 냉각시키기 위한 냉각 유체가 방전관 내부로 유입되는 문제를 원천 차단하고, 냉각 유체에 의한 마이크로웨이브 손실을 최소화한 고효율 컴팩트 마이크로웨이브 표면파 전달 구조 기술임.
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