롤투롤 증착 공정이 가능한 선형 고밀도 ECR 플라즈마 발생장치
| 대표분류 | 전기전자 | ||
|---|---|---|---|
| 연구기관 | 국가핵융합연구소 | 연구자 | 김종식 |
| 기술내용 |
본 기술은 저압에서 고밀도 선형 플라즈마를 발생시킬 수 있는 장치에 관한 기술임. 도파관 내로 도입된 전자파를 반응기 내부에 설치된 안테나로 인가하여 안테나 길이 방향에 따라 균일한 전기장을 형성시켜 선형의 고밀도 플라즈마 발생이 가능하며, 롤투롤 방식으로 이송되는 기재 표면의 플라즈마 공정이 용이함. |
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