플라즈마 내 전자를 이용한 열처리 및 결정화 기술
| 대표분류 | 전기소자 | ||
|---|---|---|---|
| 연구기관 | 국가핵융합연구소 | 연구자 | 박종배 |
| 기술내용 |
플라즈마 내 전자를 비정질 실리콘 층으로 입사하여, 기판의 결정화가 가능한 온도(600도)로 급속하게 가열함으로써 비정질 실리콘을 폴리 실리콘으로 결정화하는 기술임. 기존에 사용되고 있는 열처리 방법이 아닌, 플라즈마 내부에 존재하는 전자를 이용하고 기판에 플러스 DC 전압을 펄스 형태로 인가하여 플라즈마 내에 존재하는 전자를 기판으로 끌어당김으로써 실리콘 표면 온도를 증가시켜 폴리실리콘으로 결정화할 수 있음. |
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